三維光學(xué)輪廓儀3DOPTICALPROFILER

Chroma 7503

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基本介紹

Chroma7503搭配使用長(zhǎng)行程之垂直軸量測(cè)掃描行程可達(dá)到60mm，選購(gòu)高精密之電動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)則水平軸向亦可達(dá)次微米解析，除此Chroma7503可透過(guò)計(jì)算機(jī)控制電動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行水平掃瞄，使其水平軸向量測(cè)范圍可依據(jù)客戶需求修改平臺(tái)尺寸。Chroma7503搭配快速的校正程序以及演算原理，系統(tǒng)校正結(jié)果可以追朔至NIST標(biāo)準(zhǔn)，并結(jié)合數(shù)種創(chuàng)新且強(qiáng)固可靠的算法，因此本系列產(chǎn)品可同時(shí)擁有高精準(zhǔn)度以及大范圍量測(cè)的特質(zhì)。系統(tǒng)亦搭載Chroma的暗點(diǎn)處理功能，可有效過(guò)濾并修正無(wú)法產(chǎn)生干涉之問(wèn)題數(shù)據(jù)點(diǎn)，將這些暗點(diǎn)去除后可降低量測(cè)上的誤差。由于暗點(diǎn)處理的機(jī)制在資料擷取期間執(zhí)行，因此暗點(diǎn)濾除功能可有效率的執(zhí)行，由于暗點(diǎn)乃參考其附件周圍數(shù)據(jù)來(lái)進(jìn)行修正，因此可使得量測(cè)更加強(qiáng)固且可靠。分析軟件針對(duì)表面輪廓數(shù)據(jù)分析、修正以及圖標(biāo)提供完整的表面形貌呈現(xiàn)，更提供超過(guò)150種線或面的輪廓參數(shù)計(jì)算，其中包含粗度、起伏、平整度、頂點(diǎn)與谷點(diǎn)等參數(shù)資料，高通濾波、低通濾波、快速傅立葉變換以及尖點(diǎn)移除空間濾波等工具提供使用者進(jìn)行高/低/帶通訊號(hào)濾除，且軟件亦具備多項(xiàng)式擬合、區(qū)域成長(zhǎng)、整面及多區(qū)域調(diào)平方法，可靈活運(yùn)用于數(shù)據(jù)處理與分析上。

基本特點(diǎn)

■使用白光干涉量測(cè)技術(shù)，非破壞性、快速表面形貌量測(cè)與分析

■模塊化設(shè)計(jì)可依量測(cè)需求及預(yù)算考慮進(jìn)行各部件選配

■使用LED光源壽命長(zhǎng)

■提供多種表面參數(shù)量測(cè)功能，如斷差高度、夾角、面積、體積、粗度、起伏、薄膜厚度及平整度

■具備暗點(diǎn)以及邊界錯(cuò)誤問(wèn)題修正算法

■友善的人機(jī)接口，簡(jiǎn)單的圖形化控制系統(tǒng)及3D圖型顯示

■可交換式的文件格式，可儲(chǔ)存與讀取數(shù)種3D輪廓文件格式

■提供中/英文程序接口切換

■提供腳本量測(cè)功能，具備自動(dòng)量測(cè)能力

應(yīng)用范例

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規(guī)格表